担当科目

薄膜工学特論

科目開催場所	工学研究科(博士課程)
開講時期	前学期
科目の概要	様々な分野に使用される薄膜作製技術について、気相堆積法を中心に講義を行う。関連するプラズマ、真空についても講義を行う。
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エネルギー変換プロセス工学

科目開催場所	自然科学技術研究科
開講時期	後学期
科目の概要	様々な分野に使用される薄膜作製技術、特に気相成長法について講義を行う。関連分野である、真空工学やプラズマ工学についても扱う。
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